吴德馨， （1936年12月20日—），女，半导体器件和集成电路专家，从事砷化镓微波集成电路和光电模块的研究。河北乐亭人。丈夫王圩。1961年，吴德馨毕业于清华大学无线电电子工程系。同年，吴德馨在中国科学院半导体研究所工作。1964年，吴德馨获国家新产品一等奖。1979年，吴德馨加入中国共产党。1986年，吴德馨在中国科学院微电子中心（现中国科学院微电子研究所）工作。1986年-1989年，吴德馨任中国科学院微电子中心第一届副主任。1991年，吴德馨当选为中国科学院院士（学部委员）。1991年-1997年，吴德馨任中国科学院微电子中心主任。1992年，吴德馨被国家科委聘为“深亚微米结构器器件和介观物理”项目首席科学家。同年，吴德馨获全国“三八”红旗手、“九五”国家重大科技攻关先进个人。1999年，吴德馨获国家科技进步二等奖。2003年，吴德馨获北京市科学技术一等奖。2004年，吴德馨获何梁何利技术科学奖。